поиск оборудования

Вакуумные насосы

Есть на складе
Подбор оборудования. Подробнее
Сервисное обслуживание

Магниторазрядные насосы Agilent

С конца 1950-х годов, когда магниторазрядные насосы были разработаны фирмой Agilent, в них было внесено много изменений и сделаны значительные технические улучшения. Фактически, и в дальнейшем большая часть новшеств была предложена специалистами фирмы Agilent, начиная с первой диодной схемы ионного насоса, затем триодная схема с её наиболее эффективной запатентованной модификацией StarCell, а так же семейство насосов VacIon Plus.

Модель VacIon Plus 75 со склада в Москве, Цена 194 360 руб. без НДС

Магниторазрядные насосы Agilent
 

Модели магниторазрядных насосов


VacIon Plus 0,4 Diode, Скорость откачки (N2) 0,4 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр
VacIon Plus 2 Diode, Скорость откачки (N2) 2 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр
VacIon Plus 8 Diode,
Скорость откачки (N2) 8 л/сек,
Предельное давление ниже 10-11 Торр
VacIon Plus 20 StarCell,
Скорость откачки (N2) 27 л/сек,
Предельное давление ниже 10-11 Торр
VacIon Plus 40 StarCell,
Скорость откачки (N2) 40 л/сек,
Предельное давление ниже 10-11 Торр
VacIon Plus 55 StarCell,
Скорость откачки (N2) 55 л/сек,
Предельное давление ниже 10-11 Торр
VacIon Plus 75 StarCell,
Скорость откачки (N2) 75 л/сек,
Предельное давление ниже 10-11 Торр
VacIon Plus 150 StarCell,
Скорость откачки (N2) 150 л/сек,
Предельное давление ниже 10-11 Торр
VacIon Plus 300 StarCell,
Скорость откачки (N2) 300 л/сек,
Предельное давление ниже 10-11 Торр
VacIon Plus 500 StarCell,
Скорость откачки (N2) 500 л/сек,
Предельное давление ниже 10-11 Торр

Модели контроллеров магниторазрядных насосов


Контроллер 4UHV управляет до четырех магниторазрядными насосами модели VacIon Plus
Новый контроллер 4UHV предназначен для управления одновременно сразу четырмя магниторазрядными насосами серии VacIon Plus Diode, Noble Diode и StarCell и скоростью откачки от 20 до 500 л/сек. Большой четырехстрочечный LCD экран отображает одновременно напряжение, ток и давления четырех работающих магниторазрядных насосов.

Разнообразное меню и встроенный интерфейс RS 232 контроллера 4UHV позволяет оперативно и качественно следить за работой насосов VacIon Plus.
Возможно подключения датчиков давления для отображения на экране глубины вакуума.

Контроллер MiniVac для магниторазрядных насосов серии VacIon Plus
Контроллер MiniVac – экономный вариант для использования упралвения магниторазрядными насосами серии VacIon Plus типа Diode, Noble Diode и StarCell и скоростью откачки от 20 до 500 л/сек. Очень компактный и легкий, также может быть вмонтирован в стойку Rack.
Самые маленькие насосы VacIon Plus (от 0,4 до 8 л/сек) могут быть подключены при давлении ниже 1 x 10-5 мбар (непрерывное колебание)

Средние насосы VacIon Plus (от 20 до 75) могут быть подключены при давлении ниже 1 x 10-5 мбар (непрерывное колебание)
Большие насосы VacIon Plus (от 150 до 500) могут быть подключены при давлении ниже 2 x 10-6 мбар (непрерывное колебание)
Контроллер MiniVac специально разработаны для выдерживания непрерывного колебания при коротком замыкании, без повреждений для магниторазрядного насоса или самого себя

Контроллер TSP управляет титаново-сублимационным насосом с нитью нагрева или с нитью Ti-Ball
Контроллер TSP – компактен с возможностью встраивания в стойку Rack
Выбор автоматической или ручной работы
Различные интерфейсы RS 232/422/485
Предназначен для работы с источниками с нитью нагрева или источником Ti-Ball

Магниторазрядные насосы


Входной фланец Тип Скорость откачки Макс. стартовое давление Макс. температура отжига Вес, кг
VacIon Plus 0,4 3/8" OD Diode 0,4 л/сек (N2) 1 x 10-4 мбар 150 °C 0,3
VacIon Plus 2 3/4" OD Diode 2 л/сек (N2) 1 x 10-4 мбар 150 °C 0,3
VacIon Plus 8 2 3/4" CFF Diode 8 л/сек (N2) 1 x 10-4 мбар 350 °C 4
VacIon Plus 20 2 3/4" CFF StarCell
Noble Diode
Diode
20 л/сек (N2)
22 л/сек (N2)
27 л/сек (N2)
5 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350 °C 7
VacIon Plus 40 2 3/4" CFF StarCell
Noble Diode
Diode
34 л/сек (N2)
36 л/сек (N2)
40 л/сек (N2)
5 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350 °C 17
VacIon Plus 55 4 1/2" CFF StarCell
Noble Diode
Diode
50 л/сек (N2)
53 л/сек (N2)
55 л/сек (N2)
5 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350 °C 18
VacIon Plus 75 6" CFF StarCell
Noble Diode
Diode
65 л/сек (N2)
68 л/сек (N2)
75 л/сек (N2)
5 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350 °C 19
VacIon Plus 150 6" CFF StarCell
Noble Diode
Diode
125 л/сек (N2)
135 л/сек (N2)
150 л/сек (N2)
5 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350 °C 43
VacIon Plus 300 8 " CFF StarCell
Noble Diode
Diode
240 л/сек (N2)
260 л/сек (N2)
300 л/сек (N2)
1 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350 °C 69
VacIon Plus 500 8 " CFF StarCell
Noble Diode
Diode
410 л/сек (N2)
440 л/сек (N2)
500 л/сек (N2)
1 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350 °C 120
Предельное давление всех моделей магниторазрядных насосов составляет ниже 10-11 мбар


Комбинированные насосы

Номинальная скорость откачки при 20 °С на базе магниторазрядногонасоса в конфигурации StarCell (водяное охлаждение криопанели) Азот (N2) Водород (H2)
VacIon Plus 150 в комбинации с титаново-сублимационной панелью 610 л/с 1380 л/с
VacIon Plus 300 в комбинации с титаново-сублимационной панелью 720 л/с 1580 л/с
VacIon Plus 500 в комбинации с титаново-сублимационной панелью 880 л/с 1930 л/с


Контроллер 4UHV для магниторазрядных насосов серии VacIon Plus

Входное напряжение от 90 до 130 В или от 180 до 265 В
Входная частота от 47 до 63 Гц
Размеры высота - 177 мм, ширина - 211,4 мм, длина - 440 мм
Дисплей четырехстрочечный LCD экран
Минимальная конфигурация Один высоковакуумный ввод, Set Point, Remote Control Card
Максимальная конфигурация Четыре высоковакуумных ввода, Set Point, Remote Control Card, интерфейс RS 232, интерфейс для подключения датчиков Eyesys Mini Ba или Eyesys ConvecTorr
Выходное напряжение программируемое между ± 3000 В и ± 7000 В
Выходной ток Программируемый между 100 и 400 мА
Мощность Программируемая между 100 и 400 Вт
Чтение параметров на экране Выходное напряжение, давление(Па, мбар, Торр), Ток


Контроллер MiniVac для магниторазрядных насосов серии VacIon Plu

Входное напряжение от 90 до 130 В или от 180 до 240 В или 24 В
Выходное напряжение ± 5000 В
Выходной ток 15 мА
Выходная мощность 21 Ватт (при 3 кВ и 7 мА)
Передняя панель HV ON, HIGH LOAD и POLARITY LEDs
Линейная шкала индикации тока и напряжение
Задняя панель 9-пин конектор со следующими сигналами и командами записи на выходе:
0 до + 5 В, линейный пропорциональный до HV (1 В = 1 кВ)
0 до + 10 В, линейный пропорциональный до тока (10 В = 10 мА)
0 до + 10 В, линейный пропорциональный до тока (10 В = 1 мА)
HV ON сигнал подтверждения : Максимальная допустимая мощность - 1 А - 250 В; 0,2 А - 30 В
Remote HV ON/OFF - интерлок

Магниторазрадяные насос модели VacIon Plus
- это завершённая (полная) линейка ионных насосов, контроллеров, опций и дополнительных принадлежностей, разработанная для обеспечения потребностей промышленности и науки.
Такие параметры, как рабочий диапазон давления, состав откачиваемой смеси газов и максимальное стартовое давление насоса могут варьироваться настолько значительно, что один ионный насос не может стать наилучшим решением в каждом конкретном случаем. Это является основной причиной, почему не существует "общего " ионного насоса и для каждого приложения необходимо подбирать насос с подходящими характеристиками. В добавление, существует необходимость в "целостном решении " по ионной откачке, которое включает в себя: контроллер, различные опции и дополнительные принадлежности для обеспечения всех требований приложения.

Модели магниторазрядных насосов VacIon Plus включает версии с ячейками Diode, NobleDiode и StarCell, а также контроллеры MiniVac, MidiVac и Dual. Для увеличения скорости откачки разработаны комбинационные титано - сублимационные насосы (TSP).

Насос серии StarCell™.

Насосы серии StarCell являются последней разработкой среди насосов триодной конфигурации. Благодаря своей запатентованной конструкции данный насос является единственным, который обеспечивает откачку большого количества инертных газов (лучше, чем Noble Diode) и водорода (сравнимого с насосами серии Diode). Более того, насосы серии StarCell обеспечивают наилучшую скорость и газовую нагрузку при откачке метана, аргона и гелия. Его способность поглощать большие количества для разных газов, вместе с его высокой производительностью при относительно высоком давлении делает использование насоса серии StarCell идеальным для приложений, требующих постоянной работы при давлении 10-8 мбар или выше.

Насос серии Noble Diode.

Данная серия является версией серии Diode, в которой одни титановый катод заменен танталовым. Данная замена позволяет увеличить производительность при откачке благородных газов (главным образом, аргона и гелия).Во всем остальном серия Noble Diode аналогична серии Diode. Насосы серии Noble Diode используются в приложениях, где важна эффективная откачка инертных газов. Благодаря диодной конфигурации насосы серии Noble Diode сохраняют постоянной скорость откачки для всех газов при очень низких давлениях. Однако скорость откачки водорода и адсорбирующихся газов ниже, чем у соответствующего насоса серии Diode.

Насос серии Diode.

Серия Diode семейства насосов обеспечивает наивысшую производительность среди всех ионно-геттерных насосах при откачке кислорода, азота, диоксида углерода (СО2), моноксида углерода (СО) и других адсорбирующихся газов. Также он обеспечивает наивысшую скорость откачки по водороду.Его простая механическая конструкция позволяет надежно измерять давление при глубоком вакууме, при этом он абсолютно не имеет вибраций. Геометрия конструкции и электрическая конфигурация позволяют использовать его вблизи электронных детекторов или других подобных устройств.

Насосы семейства VacIon Plus имеют номинальный ресурс работы в плановом режиме при давлении 10-6 Торр несколько десятков тысяч часов (50 000 часов для насоса Diode и 80 000 часов для насоса серии StarCell). Многие ионные насосы иных производителей требуют техобслуживания до их номинальной долговечности, так как происходит металлизация изоляторов и искривление откачивающих элементов. Все элементы семейства насосов VacIon Plus разработаны с целью минимизировать искривление катода (даже после повторяющихся отжигов и начала работы при высоком давлении), и изоляторы защищены от оседания распыленных титановых атомов благодаря использованию замкнутого дизайна и защитному экрану. Благодаря прямой зависимости между ионным током и рабочим давлением возможно непосредственно ионно-геттерным насосом измерять давление. Надежность полученного значения давления при очень низком давлении ограничена током утечки. Ток утечки из области эмиссии очень сильно зависит от подаваемого в насос напряжения.

Комбинированные насосы

Комбинированные магниторазрядные насосы с дополнительной титано-сублимационной панелью в течение многих лет являются надежным и популярным средством для получения сверхвысокого вакуума. Возгонка титана создает газ со сверхвысокой поглощающей способностью (благодаря высокой химической активности титана), в то время как ионный механизм позволяет эффективно откачивать инертные и не поглощаемые газы, такие как аргон и метан. Данные насосы представляют собой комбинацию насосов VacIon Plus 150, 300 или 500 с внешним 8 дюймовым портом, монтируемым снизу или сбоку. Сублимационная криопанель содержит источник титана (титановая нить накаливания), который монтируется в дополнительный порт. Поглощаемые газы попадают в цилиндрическую криопанель, где они откачиваются, вступая в реакцию со свежеосажденным титановым

Жидкий азот охлаждает криопанель, увеличивая эффективность процесса газопоглощения и значительно увеличивая скорость откачки паров воды. Серия насосов VacIon Plus позволяет присоединять криопанель снизу или сбоку. Это является значительным преимуществом в ситуациях, когда существуют ограничения по высоте насоса. Также возможна нестандартная конфигурация ионно -сублимационного насоса по требованию заказчика.

Титаново-сублимационная криопанель

Криопанель разработана для охлаждения источников насоса TSP, сублимационная криопанель монтируется на фланец CFF 8 ". В качестве охлаждения могут быть использованы: вода, жидкий азот, или другой жидкое состояние, которое используется в сверхвысоковакуумных системах.

Титаново-сублимационные насосы

Титаново-сублимационный насосы серии TSP используются для откачки геттерных газов таких как Водород и Азот в сверхвысоковакуумных системах. Насосы TSP чаще всего комбинируются с магниторазрядными насосами серии VacIon Plus 150, 300 и 500, в свою очередь ионные насосы эффективны для откачки не геттерных газов таких как Аргон и Метан. TSP могут быть встроены внутрь магниторазрядного насоса или использоваться как отдельно стоящим блоком.

Если TSP использовать совместно с жидкостным или азотоохлажденной криопанелью, то увеличивается эффективность процесса газопоглощения и значительно увеличивая скорость откачки паров воды. Фирма Varian разработала два различных типа титаново-сублимационного насоса с использованием источника с нитью нагрева или источником типа Ti-Ball. Источник с нитью нагрева является самым популярным в сверхвысоковакуумных системах, т.к. его можно разворачивать между сублиматором и таким образом не происходит термальной дегазации. Источник Ti-Ball содержит большее количество титана, поэтому срок службы данного насоса будет дольше и достигать более высокого вакуума. Однако источник Ti-Ball требует резервной мощности, чтобы предотвратить разрушения формы "шарика".

Исследования и разработки

  • Ускорители частиц и синхротронные источники света
    В этих установках электрически заряженные частицы (электроны для получения синхротронных источников света или ионы для ускорителей частиц) вынуждены следовать по криволинейной траектории в кольце, которое называют накопительным. Заряженные частицы в течение нескольких часов циркулируют в этом кольце при постоянной энергии в среде высокой степени вакуума. Прежде чем частицы попадут в накопительное кольцо, они должны получить ускорение внутри системы впрыска, состоящей из одного или двух ускорителей (линейного ускорителя и бустерного синхротрона). Все частицы, следующие вдоль своего пути в установке (электроны или ионы), должны циркулировать внутри вакуумной камеры. В противном случае они соударяются с молекулами воздуха и будут быстро поглощены.
  • Линейный ускоритель
    Заряженные частицы попадают в первый высокочастотный резонатор, который ускоряет их и в то же время группирует в партии. Затем они ускоряются последовательностью высокочастотных резонаторов вдоль всей длины линейного ускорителя. Вакуум внутри линейного ускорителя может создаваться насосами VacIon Plus компании Agilent с производительностью от 20 до 70 л/с.
  • Бустерный синхротрон
    Заряженные частицы, получившие ускорение в линейном ускорителе, получают дополнительное ускорение в бустерном синхротроне. Ускорение производится высокочастотными резонаторами, сквозь которые частицы проходят много раз, всякий раз приобретая дополнительную энергию. Достигая уровень максимальной энергии, пучок частиц переходит из бустерного синхротрона в накопительное кольцо. Вакуум в бустерном синхротроне обычно создается небольшими насосами. Насосы VacIon Plus компании Agilent прекрасно справляются с этой задачей.
  • Накопительное кольцо
    Заряженные частицы циркулируют внутри накопительного кольца при постоянной энергии. При движении вдоль кольца частицы проходят изогнутые и прямые участки. Накопительное кольцо помещено внутри туннеля с толстыми бетонными стенами с целью удержания радиации в случае потери пучка.
    В этой части установки абсолютно необходим сверхвысокий вакуум, поскольку частицы перемещаются через накопительное кольцо в течение нескольких часов. Чем меньше остаточного газа, тем более сфокусированным остается пучок. Для этих целей используются крупногабаритные насосы VacIon Plus компании Agilent, имеющие производительность в диапазоне 300-500 л/с.
  • Периферийное оборудование
    К периферийному оборудованию относится трубопровод, который транспортирует в вакууме частицы из зоны извлечения в канал синхротронного излучения вне туннеля кольца. Здесь находится прерыватель пучка, а также устройства, изолирующие вакуум кольца от синхротронного канала, который обычно находится при более низком давлении. В этой части установки, как и для накопительного кольца, можно использовать крупногабаритные насосы Agilent.
  • Синхротронные каналы
    Экспериментальный зал, находящийся вокруг накопительного кольца, содержит синхротронные пучки, расположенные по касательной к кольцу. Эти пучки обычно используются в разных областях исследований (биология, полимеры и магнетизм) или в экспериментах (дифракция, мессбауэровская спектроскопия и формирование изображений). Некоторые наиболее длинные пучки формируются за пределами экспериментального зала. В этой части обычно используются крупногабаритные насосы производительностью от 300 до 500 л/с. Они могут сочетаться с титаново-сублимационными насосами и криопанелью для откачки даже самых легких молекул.
  • Различные проекты
    Некоторые проекты в области фундаментальных исследований, в которых используется наиболее чувствительное оборудование (требующее сверхвысокого вакуума без механических колебаний), могут использовать насосы VacIon Plus компании Agilent. Новые детекторы гравитационных волн (ДГВ), такие как VIRGO в Италии и LIGO в США, используют насосы компании Agilent для получения и поддержания требуемого вакуума.
  • Масс-спектрометрия
  • Аналитические системы, которые используют сфокусированные пучки заряженных частиц (ПЗЧ) и определенные типы масс-спектрометров, такие как магнитный сектор или переход Фурье, часто требуют использования сверхвысокого вакуума.
  • Эти приложения имеют очень строгие требования к рабочим характеристикам для обеспечения чувствительности, разрешения, пропускной способности образцов и воспроизводимости измерений. Подобные требования обусловлены необходимостью анализа все более мелких образцов, особенно полупроводников, при их изготовлении, а также в других высокотехнологичных приложениях.
  • Обычно эти приложения требуют получения высокой степени откачки, только насосы VacIon могут удовлетворить требованиям к такому уровню чистоты, поскольку компания Agilent является единственным производителем ионных насосов, который выполняет операцию прогрева каждого насоса в вакуумной печи и поставляет каждый насос с данными о спектре остаточных газов.
  • Компания Agilent предлагает модели насосов производительностью от 0,2 до 500 л/с, а также комбинированные насосы и насосы, изготавливаемые по требованиям заказчика, поэтому проектировщики аналитических систем могут рассчитывать на соблюдение всех условий в отношении качества вакуума, пользуясь услугами единственного поставщика.
  • Более чем пятидесятилетний опыт изготовления ионных насосов компанией Agilent позволяет поставлять насосы, изготавливаемые по техническим требованиям для специальных приложений.
  • Нанотехнологии
  • Серия высокопроизводительных ионных насосов VacIon компании Agilent полностью удовлетворяет требованиям к вакууму трансмиссионных электронных микроскопов (TЭM), растровых электронных микроскопов, оборудованию с фокусированными ионными пучками и анализу элементов на поверхности.
  • Компания Agilent является единственным производителем специализированных ионных насосов для РЭМ с уникальной конструкцией анода
    Диодные насосы РЭМ с очень низким током утечки идеально подходят для секции пушки колонны.
  • Насосы StarCell, имеющие уникальную конструкцию, идеально подходят для работы при высоком давлении колонн. Насосы StarCell также наилучшим образом подходят для работы в среде инертных газов или водорода.
  • Компания Agilent завершает предложения для производителей микроскопов полной серией контроллеров/модулей электропитания, включая недорогие источники питания и полнофункциональные контроллеры.
  • Дополнительная серия турбонасосов без смазки, имеющих низкий уровень вибраций и идеально подходящих по требованиям к вакууму для камеры образцов, форвакуумных насосов и вакуумметров, позволяет компании Agilent осуществлять поставку всех вакуумных компонентов, необходимых для электронной микроскопии.
  • Компания Carl Zeiss SMT — мировой лидер световых, электронных и ионно-оптических технологий для промышленности, научных исследований и опытно-конструкторских разработок - назначила компанию Agilent Technologies (отдел вакуумной продукции) партнером в цепи поставок компании Carl Zeiss SMT.