поиск оборудования

Вакуумные насосы

Подбор оборудования. Подробнее
Сервисное обслуживание

Турбомолекулярные насосы Agilent TwisTorr

CCS Services и Agilent Vacuum Technologies (ex-Varian Vacuum) представляют новую серию высокопроизводительных турбомолекулярных насосов AGILENT TWISTOR.

TWISTORR - продолжают инновационные традиции компании Varian (в наст. вр. Agilent) – родоначальника и безусловного лидера в производстве Турбомолекулярных насосов с полностью механической подвеской для научно-исследовательских применений и приборостроения.

СКОРОСТЬ: Насос обладает лучшим в своем классе производительности соотношением скорость откачки/габариты (степень сжатия/габариты) благодаря усовершенствованной конструкции стадий молекулярной откачки.

НАДЕЖНОСТЬ: Agilent Floating Suspension: инновационное решение гибкой подвески ротора гарантирует низкую вибрацию и шумы менее 50 dB, равно как и увеличенную устойчивость подшипников и ротора к повышенным нагрузкам. Увеличенные надежность и срок службы при работе насоса в любой ориентации.

ЧИСТОТА ВАКУУМА: Усовершенствованные подшипники с сухой консистентной смазкой с предельно низким давлением паров гарантируют отсутствие следов углеводородов в вакуумной камере и не нуждаются в обслуживании в течение всего срока службы.

Турбомолекулярные насосы Agilent TwisTorr
 

Техническая спецификация турбомолекулярных насосов Turbo-V TwisTorr


TwisTorr 84 FS TwisTorr 304 FS TwisTorr 750 TwisTorr 850 TwisTorr 2300
Скорость откачки
по Азоту,(N2), л/сек 67 250 700 750 2050
по Аргону (Ar), л/сек 60 250 680 700 N/A
по Гелию (He), л/сек 69 255 680 690 1800
по Водороду (H2), л/сек 59 220 580 590 1500
Степень сжатия
по Азоту (N2) >1 x 1011 1 x 1011 1 x 1011 1 x 1011 >8 x 108
по Аргону (Ar) >1 x 1011 >1 x 1011 1 x 1011 1 x 1011 N/A
по Гелию (He) >1,3 x 107 1 x 108 2 x 108 2 x 108 8 x 105
по Водороду (H2) 1,8 x 105 1,5 x 106 2,5 x 106 2,5 x 106 4 x 104
Предельное давление, мбар, <4 x 10-10 <1 x 10-10 <1 x 10-10 <1 x 10-10 1 x 10-10
Максимальное форвакуумное давление, мбар 14 10 6 6 4
Высоковакуумный фланец ISO63 / CFF63 / KF40 / CFF40 ISO100 / CFF100 / ISO160 / CFF160 ISO160K / CFF160 / ISO160F ISO200K / CFF200 / ISO200F ISO250F / CFF250
Форвакуумный фланец KF16 KF16 (опиция KF25) KF25 KF25 / KF40 KF40
Скорость вращения ротора, об/мин 81 000 60 000 Выбираемая от 21 000 до 49 500 Выбираемая от 21 000 до 49 500 33 300
Время запуска, мин < 2 < 3 < 3 < 3 < 6
Рекомендованный форвакуумный насос
Пластинчато-роторный насос DS 42 / DS 102 DS 102 DS 302 DS 302 DS 402 / DS 602
Сухой спиральный насос IDP 3 / SH 110 IDP 3 / SH 110 PTS 300 PTS 300 PTS 600
Положение насоса Любое
Охлаждение водяное / воздушное
Вес, кг 2,05 5,5 15,9 16,1 54,2
Смазка подшипников сухая консистентная


Техническая спецификация контроллеров турбомолекулярных насосов TwisTorr

T-V 84FS Navigator / T-V 84FS Rack T-V 304FS Navigator / T-V 304FS-AG Rack T-V 750 Navigator / T-V 750-AG Rack T-V 850 Navigator / T-V 850-AG Rack T-V 2300-AG Rack
Тип Встроенный / Отдельный Встроенный / Отдельный Встроенный / Отдельный Встроенный / Отдельный Отдельный
Входное напряжение 24 В / 100-240 В 24 В / 100-240 В 48 В / 100-240 В 48 В / 100-240 В 220-240 В
Максимальная входная
мощность
55 / 70 Ватт 200 / 300 Ватт 450 / 450 Ватт 450 / 450 Ватт 1300 Ватт
Интерфейс RS 232 / RS 485 RS 232 / RS 485 RS 232 / RS 485 RS 232 / RS 485 RS 232 / RS 485
Подключение датчики давления до 1 до 1 до 2 до 2 N/A

Основные преимущества турбомолекулярных насосов Turbo-V TwisTorr с плавающей подвеской FS

Технология TwisTorr - Лучшие показатели степени сжатия

  • По аналогии с проверенными временем насосами Agilent Turbo-V новая серия насосов TWISTORR оснащена двумя последовательными стадиями сжатия. Дополнительная молекулярная стадия усовершенствованного дизайна (диск с двухсторонней спиральной проточкой) значительно улучшает показатели степеней сжатия, в том числе при низком вакууме и для всех легких газов, снижая требование к производительности насоса предварительного откачки

Компактный дизайн

  • Усовершенствованный дизайн монолитного ротора позволил значительно сократить габариты турбомолекулярного насоса, создавая тем самым дополнительные возможности для интеграции насоса в вакуумные системы и оборудование. Ротор TWISTORR - значительно легче и компактнее конкурентных "аналогов".

Плавающая подвеска (FS-Floating Suspension)- Повышенная надежность и срок службы

  • Благодаря уникальной конструкции подшипников, обеспечивающих гибкую "плавающую" подвеску ротора, Турбомолекулярные насосы TWISTORR обладают повышенной устойчивостью к экстремальным газовым нагрузкам и, следовательно, увеличенным сроком службы.

TWISTORR FS - низкие шум и вибрация

  • Особая конструкция подвески ротора - привела к созданию также самого бесшумного (менее 50 db) насоса с уникально низкой вибрацией. Таким образом, насос идеально приспособлен для использования, как в исследовательских, так и в приборостроительных применениях.

Гибкость использования

  • Возможность использования интегрированных, либо внешних контроллеров (входное напряжение 48 Вольт)
  • При использовании универсального контроллера со встроенным электронным дисплеем - возможна работа с двумя активными датчиками
  • Логический I/0 и последовательный (RS 232/485) интерфейсы
  • Регулировка частоты вращения
  • Система продувки/напуска атмосферы предусматривающая функцию контролируемой остановки насоса, обеспечивает защиту подшипников от частиц и коррозионных газов.
  • Возможность использования водяного охлаждения
  • Медный канал водяного охлаждения для улучшенной теплопередачи и повышенной устойчивости к коррозии

Ускорители частиц

  • Турбомолекулярные насосы широко используются в физике высоких энергий, термоядерной физике и в общих исследованиях в области сверхвысокого вакуума. Синхротронные источники света, кольцевые ускорители частиц, лабораторные исследования сверхвысокого вакуума и термоядерные реакторы нуждаются в предельно чистых, надежных и экономичных, не требующих обслуживания насосах высокого и сверхвысокого вакуума.
  • Турбомолекулярные насосы компании Agilent обеспечивают непревзойденную надежность, производительность и чистоту для этих приложений. Керамические подшипники насоса, благодаря пониженному трению качения, низким напряжениям и высокой термостабильности, по сравнению с традиционными подшипниками обеспечивают длительный срок службы. Твердый смазочный материал со сверхнизким давлением паров устраняет необходимость технического обслуживания и обеспечивает чистоту операций в любых рабочих условиях.
  • Более того, в отличие от большинства других конструкций все турбонасосы компании Agilent имеют верхний и нижний подшипники со стороны форвакуума и не подвергаются воздействию сверхвысокого вакуума, еще больше снижая вероятность загрязнения даже в случае неправильного использования.
  • Патентованный TwisTorr обеспечивает максимальную скорость и коэффициент сжатия, используя при этом рабочую площадку минимальной площади, кроме того, все турбонасосы компании Agilent могут монтироваться в любом положении – от вертикального до горизонтального, позволяя проектировать систему с учетом наиболее строгих требований к занимаемому ей пространству.
  • Турбомолекулярные насосы компании Agilent могут работать при повышенном форвакуумном давлении, позволяя использовать безмасляные форвакуумные насосы, обеспечивая создание абсолютно чистой, не содержащей масла, компактной и экономичной системы для откачки вакуума.
  • При необходимости откачки большого количества газа и обеспечения высокой пропускной способности следует использовать сочетание безмасляных насосов TwisTorr и TriScroll. Все турбонасосы компании Agilent имеют встроенный контроллер, что позволяет легко устанавливать его и проводить операции по откачке или использовать контроллер, устанавливаемый на стойку для приложений, в которых электронные блоки необходимо разместить дистанционно (т.e. при наличии радиоактивности).

Нанотехнологии, электронная микроскопия (растровая и трансмиссионная), системы сфокусированных ионных пучков (ФИП) и анализ поверхности

  • Такие современные системы сфокусированных пучков, как растровые электронные микроскопы, трансмиссионные электронные микроскопы и ФИП используют колонны, которые проецируют электроны или ионы на микроскопические образцы для их детального анализа. Конечные пользователи анализируют все типы веществ – от органических соединений до полупроводниковых пластин. В частности, в полупроводниковой промышленности для этого требуется более высокая чувствительность для повышения разрешения при анализе. Другим ключевым требованием является высокая пропускная способность исследования проб с целью снижения стоимости обслуживания этих приборов.
  • Основываясь на этих требованиях, повышение производительности вакуумных насосов сегодня необходимо как никогда ранее. Компания Agilent предлагает полный спектр моделей насосов для высокого и сверхвысокого вакуума, специально предназначенных для выполнения строгих требований растровой и трансмиссионной спектроскопии и систем анализа поверхностей
  • Турбомолекулярные насосы являются ключевыми компонентами современных систем сфокусированных пучков, поскольку такие системы обеспечивают быструю безмасляную откачку воздуха из крупногабаритных камер для проб (работа без применения масла является ключевым требованием таких современных аналитических систем, как системы, используемые в производстве полупроводников). Из полного спектра выпускаемых турбонасосов проектировщики систем со сфокусированными пучками могут выбрать насос нужной производительности и габаритов, который обеспечит наилучшее время откачки камеры при минимальной стоимости владения и позволит использовать его в ограниченном пространстве.
  • Полная линейка турбонасосов с низким уровнем вибраций для наиболее чувствительной микроскопии. Кроме того, компания Agilent располагает полным спектром встраиваемых в насосы контроллеров, которые обеспечивают максимальную гибкость управления при ничтожно низком уровне генерации электромагнитных помех.

Компания Agilent предлагает широкий спектр турбонасосов, специально спроектированных для растровой электронной спектроскопии с производительностью 80, 300, 550, 700 и 1000 л/с.

  • Все конструкции турбонасосов Agilent для растровой электронной спектроскопии можно проверить в лаборатории компании. Кроме того, каждый турбонасос для растровой микроскопии проходит эксплуатационные испытания до отгрузки заказчику.

Масс спектрометрия

  • Масс-спектрометрия стала важным аналитическим инструментом во многих отраслях промышленности, включая фармацевтическую. Благодаря преимуществам в конструкции электронных схем, разработчики аппаратуры могут внедрять экономичные, высокопроизводительные аналитические средства в удобные при работе и недорогие системы. Эти разработки требуют использования современных вакуумных систем, которые характеризуются наличием нескольких камер, высокопроизводительной конструкцией приборов. Указанные требования в свою очередь предполагают использование экономичных, высокопроизводительных вакуумных насосов. Компания Agilent предлагает широкий спектр насосов и контроллеров, которые удовлетворяют наиболее строгим требованиям к вакуумным системам и оптимизированы для применения в современных масс-спектрометрических системах. Компания Agilent в дальнейшем собирается заниматься разработкой компактных и надежных насосов с несколькими входами. Далее приведены некоторые примеры применения масс-спектрометрии.

Газовый хроматограф

  • Газовый хроматограф обычно использует одну вакуумную камеру с относительно низкой газовой нагрузкой и промежуточный вакуумный интерфейс для анализа неорганических образцов. Модель Turbo-V 81-M компании Agilent с платой контроллера является экономичным решением для этой распространенной технологии анализа. Модель Turbo-V 301 Navigator представляет собой компактное, экономичное решение для более крупногабаритной аппаратуры.

Жидкостной хроматограф

  • Жидкостной хроматограф обычно имеет многокамерную вакуумную систему большой пропускной способности. Турбомолекулярные насосы компании Agilent предназначены для высокопроизводительных операций с воздушным охлаждением, что является важным преимуществом при обслуживании компактных систем. Они также выпускаются в версии с несколькими расщепленными потоками для повышения эффективности и производительности этих приложений. Встроенный контроллер обеспечивает множество функций контроля.

Масс-спектрометр с индуктивно связанной плазмой

  • Система индуктивно связанной плазмы имеет множество требований к вакуумной системе. Многие системы могут использовать такие тяжелые газы-носители, как аргон, тогда как камеры столкновений используют гелий. Турбонасосы компании Agilent оснащены высокоэффективными двигателями и двухступенчатыми высоковакуумными молекулярными насосами TwisTorr или MacroTorr для снижения выделения тепла под газовой нагрузкой. Эти особенности позволяют откачивать высокие уровни аргона. Встроенный или устанавливаемый на плату контроллер обеспечивает компактность оборудования.

Системы анализа по времени пролета

  • Системы анализа по времени пролета становятся все более важным аналитическим инструментом при поиске новых лекарственных препаратов и в протеомике. Требования, предъявляемые к вакууму, могут варьироваться, хотя малые габариты всегда представляются важным аргументом. Турбонасосы и контроллеры компании Agilent обеспечивают разработчикам высокую степень гибкости за счет высокой производительности, эффективности рассеивания тепла и компактности оборудования.

Промышленные вакуумные технологии

  • Во многих отраслях промышленности – от покрытия стеклом до изготовления медицинского оборудования производители испытывают потребность в надежных вакуумных технологиях.
  • Сосредоточившись на минимизации стоимости владения, компания Agilent продолжает выпускать инновационные вакуумные системы, которые повышают производительность, допускают изменение рабочих условий и упрощают обслуживание, помогая обеспечить максимальное время работоспособности и эффективность систем.
  • Насосы Turbo-V, предназначенные для суровых промышленных условий работы, способны справиться с высокими газовыми нагрузками и могут быть быстро восстановлены после случайного попадания воздуха.
  • Компания Agilent предлагает серию современных вакуумных насосов и систем для промышленного использования, включая насосы новой серии Turbo-V K-G со встроенными в корпус электронными схемами.

Осаждение пленок

  • Оборудование для нанесения стекловидного покрытия (декоративное стекло, автомобильное стекло, подложка панели дисплея)
  • Изготовление тонких пленок солнечных элементов (фотогальваническое покрытие)
  • Оптические носители данных (компакт-диски, DVD, магнитооптические диски)
  • Магнитные носители данных (жесткие диски, считывающие головки)
  • Обработка поверхностей с применением трибологических и износостойких покрытий
  • Функциональные и декоративные покрытия, включая металлизацию
  • Оптические покрытия (офтальмология, прецизионная оптоэлектроника)
  • Системы нанесения покрытий валиком/на лету на пленку или фольгу
  • Нанесение покрытия осаждением паров и другие процессы с применением плазмы, требующие высокой газовой нагрузки Обработка устройств
  • Производство трубок для ТВ и мониторов
  • Откачка баллонов ламп (освещение автомагистралей, видеопроекция)
  • Рентгеновские трубки и электронные устройства
  • Трубки медицинских ускорителей
  • Лазеры

Общие производственные процессы

  • Вакуумные печи/пайка
  • Сварка электронным пучком

Специализированные системы для осаждения пленок

  • Компания Agilent всегда сможет предоставить заказчику необходимый турбонасос для работы в однокамерных пакетных системах, многокамерных системах с камерами загрузки или в крупногабаритных системах непрерывного действия. Компанию Agilent выделяет опыт использования приложений, вспомогательных и специализированных систем для оптимальной интеграции вакуумных насосов в существующие системы.