поиск оборудования

Откачные посты

Подбор оборудования. Подробнее
Сервисное обслуживание

Откачной пост TPS-Bench

Откачной пост модели TPS-Bench фирмы Agilent Technologies позволяет обеспечить откачку сразу же после подключения.

Портативное, полностью интегрированное решение, поставляемое в виде настольной безмасляной системы малой массы, предназначено для небольших и средних объемов производства или для приложений, требующих высокой производительности, позволяет работать в широком диапазоне скоростей откачки.

Возможность использование инновационных турбомолекулярных насосов моделей TwisTorr.

Откачной пост TPS-Bench
 

Настольный компактный и надежный откачной пост TPS-Bench.

TPS-Bench - откачной пост в модификации до 5 возможных стандартных конфигураций на базе турбомолекулярных насосов Turbo-V 81 или Turbo-V 301 Navigator и форвакуумных насосов SH-110, DS 42 или DS 102.
Возможность подключение датчиков давления и вспомогательного оборудования.


Откачной пост TPS-BENCH комплектуется из 5 стандартных конфигураций. Форвакуумные насосы:
  • Сухой спиральный насос – SH-110 – 90 л/мин
  • Пластинчато-роторный насос – DS 42 – 38 л/мин
  • Пластинчато-роторный насос – DS 102 – 95 л/мин
Высоковакуумные насосы:
  • Турбомолекулярный насос – Turbo-V 81-M - 77 л/сек
  • Турбомолекулярный насосTurbo-V 301 - 280 л/сек
Датчики для измерения глубины вакуума:
  • Высоковакуумный датчик IM-500 – 1,3 x 10-3 мбар до 2,6 x 10-9 мбар
  • Контроллер XGS 600 для подключения низковакуумного датчика ConvecTorr и высоковакуумного датчика IMG-100
  • Широкодиапазонный датчик FRG-700 – 1000 мбар до 2,6 x 10-9 мбар
Высоковакуумные фланцы: KF 40, ISO 63, CFF 40, ISO 100, CFF 100

Техническая характеристик откачного поста TPS-Bench на базе турбомолекулярных насосов Turbo-V 81 или Turbo-V 301

Turbo-V 81-M с отдельно стоящим контроллером Turbo-V 81-AG Rack Turbo-V 301 с отдельно стоящим контроллером Turbo-V 301-AG Rack
Высоковакуумный фланец KF40 / CFF40 ISO63 / CFF63 ISO100 / CFF100 ISO160 / CFF160
Скорость откачки, л/сек
Азот, (N2) 50 77 250 280
Гелий, (He) 56 65 220 230
Водород, (H2) 46 50 200 210
Предельное давление
Сухой спиральный насос 5 x 10-9 мбар
Пластинчато-роторный насос 5 x 10-10 мбар
Возможность дополнительной комплектации средством измерения глубины вакуума в диапазоне:
от 1,3 x 10-3 мбар
до 2,6 x 10-9 мбар
Высоковакуумный датчик IM-500 с фланцем KF 25 / KF 40 / CFF 40
от 1000 мбар
до 5 x 10-9 мбар
Контроллер XGS 600 для подключения низковакуумного датчика ConvecTorr с фланцем KF 25 и высоковакуумного датчика IMG-100 KF 25
от 1000 мбар
до 2,6 x 10-9 мбар
Широкодиапазонный датчик FRG-700 / FRG 720 с фланцем KF 25 / CFF 40

Поставляемые фирмой CCS Services откачные посты на базе турбомолекулярного и форвакуумного насосов - наиболее надежный и экономный в финансовом плане способ получения высокого вакуума.

Откачные посты транспортабельны, быстро стартуют и требуют минимальных расходов на обслуживания.

Фирма Agilent Technologies предлагает большой выбор откачных постов со скоростью откачки от 46 до 750 л/с.
Откачные посты могут быть собраны на тележке или на стационарной платформе.


TPS-Compact / Mini-Task AG81
Использование широкодиапазонного активного датчика давления
  • Комбинированный активный датчик FRG-700 / FRG-720, рассчитанный на весь диапазон давлений: датчик Пирани и датчик с холодным катодом измеряют диапазон от атмосферного давления до 5 x 10-9 мбар
Возможность получения данных о давлении по трем независимым каналам
  • последовательного интерфейса
  • аналогового выхода
  • датчик можно подключать/отключать от откачного поста TPS-Compact / Mini-Task во время работы
TPS-Compact: улучшенные вакуумные характеристики
  • Откачка возможна, начиная с атмосферного давления, и до 10-9 мбар (Торр)
  • Наиболее высокая скорость откачки и коэффициент сжатия для газов H2 / He
  • Очень высокое допустимое давление в форвакуумной линии
  • Очень высокая производительность
Настольный и мобильный TPS-Compact
Приводится в действие турбомолекулярными насосами компании Agilent в составе безмасляных спиральных или пластинчато-роторных насосов.
  • Настольные TPS-Bench: настольные и переносные решения
  • Мобильные TPS-Mobile: перевозимые на тележке высокопроизводительные системы
  • Решения, конфигурируемые по указанию заказчика
Безмасляные спиральные насосы
  • Не требуют технического обслуживания, замена концевых уплотнителей не представляет сложности
  • Встроенный изоляционный клапан включен в комплект поставки
  • IDP-3: наиболее малогабаритный спиральный насос, максимальная скорость откачки 50 л/мин, максимально достижимое давление 3,3 x 10-1 мбар
  • SH-110: максимальная скорость откачки 90 л/мин
  • Насосы TriScroll модели PTS 300 и PTS 600: скорость откачки 250 л/мин и 500 л/мин
Уникальный турбомолекулярный насос компании Agilent
  • Инновационная технология TwisTorr высоковакуумного молекулярного насоса
  • Не требует техобслуживания
  • Повышенный коэффициент сжатия и скорость откачки
  • Широкий диапазон скоростей откачки от 46 до 700 л/c
Пластинчато-роторные насосы
  • Широкий диапазон скоростей откачки от 38 л/мин до 240 л/мин
  • Двухступенчатая конструкция
  • Принудительная циркуляция масла
  • Газобалластный клапан
  • Наличие клапана, препятствующего обратному всасыванию, и вентиляционного устройства
Непосредственное считывание показаний давления с платы встроенной в корпус откачного поста
  • Крупный дисплей для отображения показаний давления
  • Выбор единиц измерения: Торр, Па и мбар
  • I/O и последовательный интерфейс
  • Программное обеспечение T-Plus Navigator для подключения к компьютеру
  • Электронная микроскопия и масс-спектроскопия

Откачные посты является превосходным инструментом для поддержания вакуума в колонне электронного микроскопа во время проведения технического обслуживания или ремонта устройства.
Безмасляная система гарантирует отсутствие загрязнения колонны.

  • Физика высоких энергий и исследовательские центры.

Откачные посты можно использовать в любой лаборатории, где требуется создание высокого вакуума в камерах любого объема. Новое поколение электронных компонентов и наличие дисплея для отображения значения глубины вакуума обеспечивают точность осуществления технологического процесса.


  • Применение в промышленности

Откачной пост Mini-Task AG81 может создавать и поддерживать требуемый уровень разрежения в раздельных камерах промышленных систем во время их обслуживания или ремонта.


  • Применение в медицине
  • Медицинские ускорители для лечения онкологических заболеваний.

  • Электронная микроскопия и масс-спектроскопия

Новая интегрированная турбонасосная система TPS-compact является превосходным инструментом для поддержания вакуума в колонне электронного микроскопа во время проведения техобслуживания или ремонта устройства. Безмасляная система гарантирует отсутствие загрязнения колонны.


  • Промышленности

Турбонасосная система TPS-compact может создавать и поддерживать требуемый уровень разрежения в раздельных камерах промышленных систем во время их обслуживания или ремонта.


  • Производство полупроводников

Система TPS-compact отлично подходит для откачки загрузочных камер. Безмасляная конструкция обеспечивает чистоту процесса. Система TPS-compact может монтироваться в любом положении, что делает ее пригодной для большинства конфигураций системы.


  • Физика высоких энергий и исследовательские центры

Новую турбонасосную систему можно использовать в любой лаборатории, где требуется создание высокого и сверхвысокого вакуума в камерах. Новое поколение электронных узлов и наличие дисплея для отображения величины давления обеспечивают точность осуществления технологического процесса.

Применение

  • Откачка до сверхвысокого вакуума
  • Обработка электронных ламп и трубок
  • Регенерация крионасосов
  • Работа с системами сверхвысокого вакуума
  • Откачка систем до высокого и сверхвысокого вакуума