поиск оборудования

Средства измерения вакуума

Подбор оборудования. Подробнее
Сервисное обслуживание

Вакуумные датчики Agilent

Вакуумметры компании Agilent являются надежными, точными и экономичными инструментами для измерения давления в широком диапазоне приложений.

Компания Agilent отводит важное место технологиям измерения давления, которые предназначены для современных промышленных сред.

Простота, прочность конструкции и легкость обслуживания гарантируют максимальную производительность и время безотказной работы в вакуумных системах или системах вакуумной обработки.

Вакуумные датчики Agilent
 
Уникальный датчик ConvecTorr компании Agilent выполнен из нержавеющей стали, содержит тепловой датчик с поддержкой конвекции, который имеет чувствительный элемент с превосходными рабочими характеристиками (от 10-4 Торр до атмосферного давления) при постоянной температуре.
Датчик ConvecTorr позволяет выполнять точные измерения давления во всём диапазоне форвакуума при исключительно быстром отклике (0,2 сек) и обеспечивает превосходное считывание показаний давления при высоком вакууме благодаря тепловой стабильности чувствительного элемента.
Модель датчика: Фланец: Пределы измерения: Рекомендуемый контроллер:
ConvecTorr KF16 / KF25 / CFF16 1 x 10-4 Торр - Атм XGS-600
Измерительная трубка термопарный датчик 536 выполнена из сварной нержавеющей стали марки 304, которая использовалась и для модели 531, с дополнительной перегородкой, значительно продлевающей срок службы датчика, который, в противном случае, подвергается воздействию конденсируемого газа.
Термопара и нагревательный элемент выполнены из благородных металлов с целью минимизации воздействия любых загрязнений датчика на его рабочие характеристики.
Модель датчика: Фланец: Пределы измерения: Рекомендуемый контроллер:
536 KF16 / KF25 / CFF16 1 x 10-3 Торр - Атм XGS-600 / RGC-100 / RGC-150
Термопарный датчик 531 является проверенным временем, экономичным решением для непрерывных и точных измерений форвакуумного давления в диапазоне от 10-3 до 2,0 Торр (от 10-3 до 2,7 мбар).
Является прочным и износоустойчивым датчиком, не подверженным влиянию выбранного при монтаже расположения.
Модель датчика: Фланец: Пределы измерения: Рекомендуемый контроллер:
531 KF16 / KF25 / CFF16 1 x 10-3 Торр - Атм XGS-600 / RGC-100 / RGC-150
Датчик 572 является высокопроизводительным датчиком с широким диапазоном линейного отклика от 2x10-10 до 103 Торр. Он рассчитан на длительные периоды дегазации и на использование простых внешних переключателей нитей без внесения возмущений в вакуумную систему. Датчик 572 совместим практически со всеми современными контроллерами ионизационных датчиков давления с термоэлектронными катодами.
Модель датчика: Фланец: Пределы измерения: Рекомендуемый контроллер:
572 KF25 / KF40 / CFF40 / труба 2 x 10-10 Торр - 1 x 10-3 Торр XGS-600
Датчик 571 обладает высокой производительностью и широким рабочим диапазоном (2x10-10 – 1x10-3 Торр).
Это прочный датчик, который может выдерживать длительные периоды дегазации или случайные воздействия атмосферного давления при рабочей температуре и восстанавливать после этого свои первоначальные характеристики.
Модель датчика: Фланец: Пределы измерения: Рекомендуемый контроллер:
571 KF25 / KF40 / CFF40 / труба 4 x 10-10 Торр - 5 x 10-1 Торр XGS-600
Датчик 563 является прочным датчиком с широким диапазоном линейного отклика: 2x10-10 – 1x10-3 Торр.
Платиновое внутреннее покрытие колбы экранирует элементы датчика от электростатических разрядов при низком давлении и отводит статические заряды, которые могут скапливаться при наличии высокого давления.
Модель датчика: Фланец: Пределы измерения: Рекомендуемый контроллер:
563 KF25 / KF40 / CFF40 / труба 2 x 10-10 Торр - 1 x 10-3 Торр XGS-600
Датчик MBA-100 является компактным цельнометаллическим датчиком области высокого вакуума для выполнения прецизионных измерений там, где их повторяемость имеет значение, например, для лабораторных вакуумных систем, масс-спектрометров, электронных микроскопов и научной аппаратуры.
Нагретая нить является постоянным источником электронов для ионизации газа, обеспечивая превосходную точность и стабильность, а измерения охватывают диапазон от 1x10-2 до 1x10-9 Торр. Уникальная технология травления решетки фирмы Agilent обеспечивает превосходную воспроизводимость экземпляров датчика, а небольшая внутренняя площадь поверхности требует минимальной дегазации для обеспечения требуемой точности и защиты экспериментального процесса.

Датчик MBA-100 является небольшим и прочным устройством, который позволяет без труда производить установку в плотно смонтированные системы. Запирающийся электрический разъем гарантирует безопасный плотный контакт, а пластмассовый корпус защищает персонал и расположенное поблизости оборудование от тепла. Металлический корпус осуществляет экранирование от электромагнитных помех, поддерживая высокую стабильность работы датчика. Покрытая двуокисью тория иридиевая нить является весьма стойкой к выгоранию, даже в случае случайного воздействия на нее окружающего воздуха.

Модель датчика: Фланец: Пределы измерения: Рекомендуемый контроллер:
MBA-100 KF25 / KF40 / CFF40 1 x 10-9 Торр - 5 x 10-2 Торр XGS-600
Модель MBA-200 с двойной нитью поставляется для наиболее важных приложений – запасная нить дает возможность проведения непрерывных измерений давления до следующего планового технического облуживания.
Модель датчика: Фланец: Пределы измерения: Рекомендуемый контроллер:
MBA-200 KF25 / KF40 / CFF40 1 x 10-9 Торр - 5 x 10-2 Торр XGS-600
Датчик IMG-100 является прочным и точным датчиков высокого вакуума, имеющий быстрый запуск, хорошую точность и превосходную воспроизводимость результатов в проблемных средах.
IMG-100 идеально подходит для таких промышленных приложений, как осаждение металла, нанесение стекловидных покрытий, для вакуумных и дегазационных печей, а также сварочных аппаратов, использующих электронные пучки. Эта простая конструкция не требует использования нагретой нити, поэтому модель IMG -100 имеет исключительно большой срок службы, ее легко обслуживать, и она допускает внезапные или частые воздействия атмосферы.

Более того, отсутствует риск выделения тепла из датчика, которое могло бы оказать воздействие на важные экспериментальные или технологические процессы.
Компактные размеры дают возможность установки датчика при любой ориентации, а защелкивающийся разъем высокого напряжения для работы в сверхвысоком вакууме обеспечивает безопасный и плотный электрический контакт.
Прецизионная конфигурация магнитного поля ограничивает рассеивание ионизированных молекул газа, обеспечивая точные измерения давления, поэтому эмиссия рассеянных электронов и фотонов сведена к минимуму.

Модель датчика: Фланец: Пределы измерения: Рекомендуемый контроллер:
IMG-100 KF25 / KF40 / CFF40 5 x 10-9 Торр - 1 x 10-3 Торр XGS-600
Датчик IMG-300 сочетает возможность точных измерений сверхвысокого вакуума с быстрым откликом на изменения давления. Конфигурация магнитного поля обеспечивает превосходную чувствительность при сверхвысоком вакууме и позволяет запускать устройство в течение 30 сек при давлении 1x10-10 Торр (мбар).Датчик не использует нагретую нить и требует минимального времени для дегазации, что могло бы ухудшить отклик на изменение давления. В датчике также отсутствует эмиссия электронов или фотонов, которые бы могли помешать проведению экспериментального процесса.
Цельнометаллическая конструкция датчика, стойкая к радиации, позволяет производить нагрев до 250 °C во время работы, а защелкивающийся разъем для работы в условиях высокого вакуума обеспечивает безопасный и плотный электрический контакт. Также поставляется радиационно- и термостойкий кабель.
Модель датчика: Фланец: Пределы измерения: Рекомендуемый контроллер:
IMG-300 CFF40 5 x 10-11 Торр - 1 x 10-3 Торр XGS-600
Датчик UHV-24 является ионнизхационным датчиком типа Байярда-Альперта, использующим технологию травления решетки для обеспечения широкого диапазона измерений с эффективностью ионизации (чувствительностью) не менее чем в два раза превосходящей обычные ионные датчики давления.
UHV-24 пригоден для работы с приложениями, в которых одинаково важны точность и воспроизводимость измерений. Нагретая нить является постоянным источником электронов для ионизации молекул газа, что обеспечивает точные и стабильные результаты.
Модель датчика: Фланец: Пределы измерения: Рекомендуемый контроллер:
UHV-24 CFF40 2 x 10-11 Торр - 1 x 10-3 Торр XGS-600
Модель UHV-24p является вариантом модели UHV-24, предназначенной для измерения давления в расширенном диапазоне от 5x10-12 до 1x10-3 торр (от 6,7x10-12 до 1x10-3 мбар). Модели UHV-24 и 24P имеют фланец ConFlat 40 с рассчитанной на длительный срок службы иридиевой нитью, покрытой двуокисью тория или вольфрама, которую можно без труда заменить в рабочих условиях.
Модель датчика: Фланец: Пределы измерения: Рекомендуемый контроллер:
UHV-24p CFF40 5 x 10-12 Торр - 1 x 10-3 Торр XGS-600

Активный датчик модели CT-100


Вакуумметр CT-100 компании Agilent простой и надежной конструкции обладает рабочими характеристиками датчика Пирани с минимальными эксплуатационными затратами. Быстрое время отклика датчика Пирани, составляющее 0,2 сек, делает CT-100 идеальным для высокопроизводительных приложений, в которых время выполнения технологических этапов имеет большое значение.
Пределы измерения Точность измерения Дисплей Время отклика Фланец Вес Контроллер
133 – 1,33 x 10-4 мбар - - 0,2 сек KF16 113 гр блок питания

Активные датчики модели PVG-500 / PVG-500S / PVG-502S


Серия датчиков Пирани PVG-500 компании Agilent сочетают современные технологии, надежность и компактность конструкции прибора.Модель PVG-500 использует усовершенствованную цифровую технологию Пирани и чувствительный элемент из нержавеющей стали, что позволяет удовлетворять различные потребности сегодняшнего рынка.
Пределы измерения Точность измерения Дисплей Время отклика Фланец Вес Контроллер
1000 – 5 x 10-4 мбар ±15% - 1 x 10-3 – 100 мбар
±50% - 5 x 10-4 – 1 x 10-3 мбар
±50% - 100 – 1000 мбар
- 80 мсек KF16 80 гр XGS-600 / RGC-100 / RGC-150

Активный датчик модели CDG-500


Серия датчиков CDG-500 с емкостной диафрагмой и температурной компенсацией обеспечивают высокий уровень точности в области высоких давлений. Датчики модели CDG-500 используют коррозионно-стойкую сверхчистую алюмооксидную керамическую диафрагму, которая обеспечивает исключительную стабильность сигнала, быстрое восстановление после воздействия атмосферного давления, быстрый прогрев и высочайшую надежность.
Пределы измерения Точность измерения Дисплей Время отклика Фланец Вес Контроллер
1000 Торр
100 Торр
10 Торр
1 Торр
±0,2%
±0,2%
±0,2%
±0,2%
- 30 мсек KF16 80 гр XGS-600 / RGC-100 / RGC-150

Активные датчики модели PCG-750 / PCG-752


Серия датчиков Пирани PCG-750 и PCG-752 компании Agilent сочетают современные технологии, надежность и компактность конструкции прибора. Модель PCG-750 и PCG-752 использует усовершенствованную цифровую технологию Пирани и диафрагменного датчика, что позволяет удовлетворять различные потребности сегодняшнего рынка. Программируемый встроенный интерфейс RS 232 или FCC 8 pin.
Пределы измерения Точность измерения Дисплей Время отклика Фланец Вес Контроллер
1500 – 5 x 10-5 мбар ±50% - 5 x 10-5 – 1 x 10-3 мбар
±15% - 1 x 10-3 – 100 мбар
±5% - 100 – 950 мбар
±2,5% - 950 – 1050 мбар
опционно 30 мсек KF16 80 гр XGS-600 / RGC-100 / RGC-150

Активные датчики модели FRG-700/FRG-702


Датчики серий FRG-700 и FRG-702 (все модели из металла) компании Agilent являются серией датчиков, которые реализуют два метода измерений в одном, компактном и экономичном комплекте для измерения технологического и базового давления от 5x10-9 мбар до атмосферного. Компактный одиночный модуль, передающий один логарифмический аналоговый выходной сигнал, позволяет существенно сократить объем работ по монтажу, настройке и интеграции. Программируемый встроенный интерфейс FCC 8 pin.
Пределы измерения Точность измерения Дисплей Время отклика Фланец Вес Контроллер
1000 – 5 x 10-9 мбар ±30% - 0,2 сек KF25 / CFF40 730 гр XGS-600 / RGC-100 / RGC-150

Активные датчики модели FRG-720/FRG-730

Датчики FRG-720 и FRG-730 компании Agilent являются совмещенными датчиками Пирани и Байярд-Альперта, выполненными в единой компактной конструкции, которая дает возможность проведения измерений в диапазоне от 5x10-10 мбар до атмосферного давления. Объединение этих технологий в одном модуле упрощает использование и устраняет проблемы при интеграции, одновременно защищая чувствительный элемент Байярд-Альперта от преждевременного перегорания. Программируемый встроенный интерфейс RS 232 или FCC 8 pin.
Пределы измерения Точность измерения Дисплей Время отклика Фланец Вес Контроллер
1000 – 5 x 10-10 мбар ±15% - 10-8 – 10-2 мбар опционно 0,2 сек KF25 / CFF40 285 гр XGS-600 / RGC-100 / RGC-150/ блок питания