поиск оборудования

Вакуумные клапаны

Подбор оборудования. Подробнее
Сервисное обслуживание

Клапаны и затворы Agilent

Модельный ряд вакуумных клапанов компании Agilent и компании VAT разработан для обеспечения надежности и производительности.

Эти клапаны также предназначены для оптимизации проводимости, работы в широком диапазоне приложений, а также для минимизации числа движущихся частей.

Указанные особенности позволят сократить износ и ограничить число возникающих частиц, что способствует повышению надежности и производительности клапанов.

Клапаны и затворы Agilent
 

Затворы Agilent

Клапаны серии GateKeeper являются экономичными, надежными вакуумными затворами, разработанными и изготавливаемыми компанией Agilent.
Эти клапаны обеспечивают экономичное, низкопрофильное средство изоляции насоса высокого вакуума при низком уровне создания твердых частиц.
Такие клапаны являются более экономичной альтернативой клапанам из нержавеющей стали.


В конструкции клапанов серии GateKeeper используется корпус из литого алюминия, линейный приводной механизм, механизм уплотнения на основе опорной пластины и эластомерное уплотнение штока. Такие клапаны являются высококачественными и экономичными механизмами плавного действия. Корпус устройства литой, выполненный с использованием процесса VaPore при строгом контроле каждой партии материалов и каждого технологического этапа, что позволяет получать литье без пор. Надежное высоковакуумное уплотнение штока исключает необходимость применения сильфонов. Линейный привод и уплотняющий механизм на основе опорной пластины предназначены для сведения к минимуму точек контакта металл-металл.

Собранный клапан представляет собой изящный механизм, который использует небольшое число прецизионно обработанных компонентов. Требуемые для уплотнения усилия создаются при минимальном числе движущихся частей, а также без регулировочных винтов.
В результате при работе клапана возникает лишь незначительное число твердых частиц. Алюминиевый шиберный клапан компании Agilent имеет небольшой фланец. Детали фланцев стандарта ISO/F механически вставляются в литой корпус, что обеспечивает соответствие захватно-зажимного соединения стандарту ISO.

Особенности

  • Корпус устройства литой, выполненный с использованием процесса VaPore для обеспечения целостности вакуумных систем
  • Высоковакуумное уплотнение штока не имеет сильфонов
  • Экструдированный алюминиевый пневмоцилиндр с внутренним демпфированием
  • Прецизионные шарикоподшипники, перемещающиеся по профилированным дорожкам
  • Уплотнительная пластина перемещается по направляющим и не требует каких-либо роликов
  • Для обеспечения требуемого уплотняющего усилия не требуется какая-либо настройка
  • Небольшой фланец имеет низкий профиль
  • Переключатель режимов дистанционной и визуальной индикации положения

Преимущества

  • Экономичный и легкий клапан предназначен для работы в условиях высокого вакуума
  • Безаварийная работа
  • Рассчитан на большое количество рабочих циклов
  • Бесшумное и плавное срабатывание при минимуме вибраций
  • Низкий уровень генерации твердых частиц при соприкосновении с литым алюминиевым корпусом
  • Какие-либо регулировочные винты в уплотнительной пластине, заворачивающиеся в литой корпус, отсутствуют
  • Стандартное уплотнение рассчитано на длительный срок службы
  • Удобен при проектировании и монтаже систем
  • Простота обслуживания

Техническая спецификация затворов фирмы Agilent

Диапазон вакуума Прогреваемый до
1 атм. - 10-7 Торр (мбар) 1500С
Материал Корпус Срок службы
Алюминий 1 000 000
Уплотнение поршня Пневматическое соединение
Витон 1/8 in/ NPT
Диапазон течи уплотнения Давление сжатого воздуха
< 1 x 10-9 атм. см3/с (по Гелию) 60 psi - 100 psi
Диапазон течи корпуса Время открытия / закрытия
< 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию) Меньше 2 сек
Проводимость Ход поршня
ISO 63-550 л/сек / ISO 100-2000 л/сек
/ ISO 160 - 7000 л/сек
/ ISO 250 - 26000 л/сек
Линейное движение

Электромагнитный клапан Agilent


Экономичный, не требующий обслуживания, легко интегрируется в вакуумную систему с помощью быстроразъемного соединения.
Выпускаются с двумя присоединительными фланцами: KlampFlange NW16 и NW25.
Управляющие напряжения: 12В или 24В прямого тока, 220В (50/60Гц), 240В (50Гц), 115В (50/60Гц), 200В (60Гц).

Техническая характеристика

Диапазон вакуума Срок службы
Корпус из алюминия - 1 атм. - 10-6Торр
Корпус из никеля-платины - 1 атм. - 10-9 Торр
250 000
Диапазон течи Проводимость (молекулярный режим)
1 атм. - 10-9 Торр (мбар) KF 16 – 2,2 л/с
KF 25 – 3,5 л/с
Прогреваемый до Время открытия / закрытия
В закрытом положении – 1250С Открытия – 50 мсек
Закрытия – 25 мсек
Мощность 23 Ватт

Вакуумные клапаны Agilent


  • Материал корпуса алюминий 6061 Т6, материал уплотнения витон V747-75
Алюминиевые вакуумные клапаны Agilent предназначены для работы в условиях среднего и высокого вакуума.
Эти экономичные, компактные и надежные клапаны применяются при производстве полупроводников, в исследованиях и опытно-конструкторских работах, а также в промышленных вакуумных системах.
Вакуумные клапаны компании Agilent рассчитаны на 1 млн циклов (NW16/25).

В настоящее время изготавливаются клапаны, углового исполнения (NW16 – 80) или линейного исполнения (NW16 – 40). Эти клапаны можно заказать с ручным или с пневматическим управлением. Модели клапанов с никелевым покрытием обеспечивают пониженную дегазацию и повышенную стойкость к агрессивным газам. Клапаны с пневматическим управлением можно заказать с соленоидом и/или с визуальным индикатором положения.


Диапазон вакуума 1 атм. - 10-9 Торр (мбар)
Прогреваемый до 1500C

  • Материал корпуса нержавеющая сталь 304, материал уплотнения витон V747-75
Запорные клапаны Agilent из нержавеющей стали предназначены для работы в условиях среднего и высокого вакуума. Эти экономичные, компактные и надежные клапаны применяются при производстве полупроводников, в исследованиях и опытно-конструкторских работах, а также в промышленных вакуумных системах.
В настоящее время изготавливаются клапаны, углового исполнения (NW16-80) или линейного исполнения, с CF, KF или с концевыми трубками.

Эти клапаны можно заказать либо с ручным или пневматическим управлением. Запорные клапаны компании Agilent из нержавеющей стали рассчитаны на 1 млн циклов (NW16/25).

Диапазон вакуума 1 атм. - 10-9 Торр (мбар)
Прогреваемый до 2000C

  • Материал корпуса нержавеющая сталь 304, материал уплотнения сльфонное металлическое с герметизирующим элементом.
При необходимость надежной герметизации из эластомера для работы со сверхвысоким вакуумом следует использовать клапаны из нержавеющей стали, устанавливаемые под прямым углом или встраиваемые в линию.
В настоящее время изготавливаются клапаны, углового исполнения или линейного исполнения, с фланцами CFF16 / CFF25 / CFF40.

Диапазон вакуума 1 атм. - 10-10 Торр (мбар)
Прогреваемый до 2250C

Техническая характеристика

Диапазон течи уплотнения Диапазон течи корпуса
< 1 x 10-9 атм. см3/с (по Гелию) < 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию)
Пневматическое соединение Давление сжатого воздуха
резьбовое соединение 1/8 in/ NPT Пружины сжата, подача воздуха открыта: 60 psi - 120 psi
Срок службы Время открытия / закрытия
KF16 / KF25 – 1 000 000
KF40 / KF80 – 250 000
CFF16 / CFF25 - 1 000 000
CFF 40 - 250 000
300 мсек
Цельнометаллические клапаны Agilent рассчитаны на высокие температуры и предназначены для использования в системах сверхвысокого вакуума, где температуры нагрева достигают 450 °C, что препятствует использованию эластомеров и металлов с низкой температурой плавления.
Простота цельнометаллической конструкции, в которой используется принцип уплотнения фланца ConFlat компании Agilent, обеспечивает работу устройства при низких эксплуатационных расходах, что обеспечивает максимальную надежность и вакуумное уплотнение в диапазоне давлений от атмосферного до 10-11 торр (мбар).

В настоящее время изготавливаются клапаны углового исполнения, трехходовые или линейного исполнения, с фланцами CFF16 / CFF40.

Техническая характеристика

Диапазон вакуума Прогреваемый до
1 атм. - 10-11 Торр (мбар) Фланец CFF 16 - 4000С
Фланец CFF 40 – 4500C
Диапазон течи уплотнения Диапазон течи корпуса
< 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию) < 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию)
Проводимость Срок службы
CFF 16 - 5 л/сек
CFF 40 – углообразный - 36 л/сек
CFF 40 – трехходовой - 22 л/сек
CFF 63 - 118 л/сек
При 4000С, 4500С – 30
При 200С, 250С – 300
Этот клапан электрически подключен параллельно механическому насосу и быстро закрывается при прерывании подачи питания, чтобы предотвратить возникновение обратного потока масла или миграции частиц в вакуумную систему.
Указанные клапаны также вентилируют насос с входной стороны, что позволяет протолкнуть весь мусор к выходному отверстию, предотвращая его попадание в систему при повторном запуске насоса.
Конструкция корпуса и расположение клапана под прямым углом обеспечивают максимальную проводимость.

Техническая характеристика

Материал Время закрытия
Корпуса – алюминий Т6061-Т6
Штока – алюминий 2024
Уплотнения - витон
30 мсек
Мощность Диапазон течи корпуса
7 Ватт < 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию)
Диапазон температуры Диапазон течи уплотнения
Клапана от 0 до 1000С, соленоида от 0 до 500С < 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию)
Проводимость Фланец подключения
KF 25 – 13 л/сек
KF 40 – 33л/сек
KF 25
KF 40
Натекатель ручного действия имеет движущийся шток с оптически плоским сапфиром, который соприкасается с зафиксированной металлической прокладкой.
Эта технология формирует уплотнение, полностью свободное от трения, заеданий и сдвига.
Перемещение сапфира управляется резьбового механизма, имеющего вал и рычаг, который обеспечивает выигрыш в силе 13 000:1.

Техническая характеристика

Контроллируемый уровень течи Максимальный поток проводимости
10-10 Торр*л/сек 6 л/мин
Диапазон вакуума Прогреваемый до
1 атм. - 10-11 Торр (мбар) 4500С
Диапазон течи Фланец подключения
< 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию) CFF 40